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X射線熒光光譜儀激發(fā)樣品的光源主要包括具有各種功率的X射線管、放射性核素源、質(zhì)子和同步輻射光源。波長色散X射線熒光光譜儀所用的激發(fā)源是不同功率的X射線管，功率可達(dá)4~4.5kW，類型有側(cè)窗、端窗、透射靶和復(fù)合靶。能量色散X射線熒光光譜儀用的激發(fā)源有小功率的X射線管，功率從4~1600W，靶型有側(cè)窗和端窗。靶材主要有Rh、Cr、W、Au、Mo、Cu、Ag等，并廣泛使用二次靶?，F(xiàn)場和便攜式譜儀則主要用放射性核素源。激發(fā)元素產(chǎn)生特征X射線的機(jī)理是必須使原子內(nèi)層電子軌道產(chǎn)生電子空位。...